Bir Rus enstitüsü, 7nm sınıfı üretim teknolojilerini kullanarak cips üretebilen kendi litografi tarayıcısını geliştiriyor. Makine, 2028 yılına kadar inşa edilmesi planlanarak geliştirilme aşamasındadır. Hazır olduğunda, ASML’nin geliştirmesi on yıldan fazla süren Twinscan NXT:2000i aracından daha verimli olacaktır.
Rusya 24 Şubat’ta Ukrayna’ya karşı kanlı savaşını başlattıktan sonra Tayvan, ülkeye gelişmiş cips sevkiyatını hemen yasakladı. Ardından ABD, Birleşik Krallık ve AB, gelişmiş fabrikalara sahip tüm sözleşmeli yonga üreticilerinin Rus kuruluşlarıyla çalışmasını fiilen yasaklayan yaptırımlar izledi. Ayrıca Arm gibi şirketler, teknolojilerini Rusya merkezli çip tasarımcılarına lisanslayamaz. Sonuç olarak, Rus hükümeti 2030 yılına kadar ülkenin kendi 28nm sınıfı üretim teknolojisini geliştirmek, mümkün olduğunca çok sayıda yabancı çipte tersine mühendislik yapmak ve yerli çipler üzerinde çalışacak yerel yetenekleri eğitmek için ulusal bir program başlattı.
Ancak, 2030 yılına kadar 28nm sınıfı bir üretim düğümünde bir sorun var. Rusya’nın en gelişmiş fabrikası, 65nm üretim teknolojisini kullanarak cips üretebilir. Bu arada, Amerikalı ve Avrupalı fab araçları üreticileri, yaptırımlar nedeniyle ekipmanlarını Rusya’ya tedarik edemiyor, bu nedenle ülke 28nm’lik bir düğüm benimsemek istiyorsa yerli gofret üretim ekipmanı tasarlamak ve inşa etmek zorunda. Esasen, ASML ve Applied Materials gibi şirketleri geliştirmek ve yinelemek için on yıllar süren şeyin yaklaşık sekiz yıl içinde yapılması gerekiyor.
Görünüşe göre, Rusya Bilimler Akademisi’ne bağlı Rus Uygulamalı Fizik Enstitüsü, 2028 yılına kadar tüm beklentileri aşmayı ve 7nm kapasiteli bir litografi tarayıcısı üretmeyi planlıyor. Nizhy Novgorod Strateji Geliştirme web sitesi (aracılığıyla CHaberler).
7nm sınıfı bir proses teknolojisi kullanarak gofretleri işleyebilen modern bir litografi tarayıcısı, sadece birkaç kritik parçayı saymak gerekirse, yüksek performanslı bir ışık kaynağı, sofistike optikler ve hassas metroloji içeren oldukça karmaşık bir aparattır. Bununla birlikte, Rusya’da önde gelen bir uygulamalı fizik üniversitesi olarak IAP, böyle bir aracı nispeten kısa sürede geliştirebileceğine inanmaktadır.
Araç, ASML veya Nikon gibi şirketler tarafından üretilen tarayıcılardan biraz farklı olacaktır. Örneğin, IAP, bugün var olandan çok daha karmaşık optikler gerektirecek olan 11.3nm maruz kalma dalga boyuna (EUV dalga boyu 13.5nm’dir) sahip >600W’lık bir ışık kaynağı (toplam güç, ara odak gücü değil) kullanmayı planlıyor. Cihazın ışık kaynağı nispeten düşük güçte olacağından, aleti daha kompakt ve yapımı daha kolay hale getirecektir. Ancak bu aynı zamanda tarayıcı üretiminin modern derin ultraviyole (DUV) araçlarından önemli ölçüde daha düşük olacağı anlamına geliyor. IAP’ye göre bu bir sorun olmayabilir.
Zamanlama söz konusu olduğunda, IAP biraz fazla iyimser olabilir. 32 nm’nin altındaki her şey için yonga üreticileri, daldırma litografisi (esas olarak DUV araçlarını güçlendiren) olarak adlandırılan yöntemi kullanır. ASML tanıtıldı ilk daldırma litografi sistemi — Twinscan XT:1250i — 2003’ün sonlarında 65nm mantık yongaları ve 70nm yarım adımlı DRAM’ler üretmek için 2004’ün üçüncü çeyreğinde bir tane sunma planıyla. Şirkete yaklaşık beş yıl ve bir başka nesil araç aldı. duyurmak 32nm kapasiteli Twinscan NXT:1950i 2008’in sonlarında, müşteri teslimatları 2009’da başlayacak.
Ardından, pazar liderinin 7nm ve 5nm özellikli modelini teslim etmesi yaklaşık dokuz yıl sürdü. Twinscan NXT:2000i DUV TSMC, birinci nesil N7 üretim teknolojisi için çoklu modelleme ile daha az gelişmiş araçlar kullandı, ancak ASML’nin tanıtımlarının zamanlaması, 65nm’den 7nm’ye geçişin ne kadar zor olduğunu gösteriyor. ASML’nin 65nm’den 7nm’ye çıkması 14 yıl sürdü. Şimdi, yonga üretiminde herhangi bir deneyimi olmayan veya yonga üreticileriyle bağları olmayan IAP, yaklaşık altı yıl içinde sıfırdan seri üretim için 7nm kapasiteli bir makine yapmayı planlıyor. Plan uygulanabilir görünmese de, IAP coşkuyla dolu gibi görünüyor.
Rusya Bilimler Akademisi Mikroyapılar Fizik Enstitüsü Müdür Yardımcısı Nikolai Chkhalo, “Küresel litografi lideri ASML, yaklaşık 20 yıldır EUV litografi sistemini geliştiriyor ve teknolojinin inanılmaz derecede karmaşık olduğu ortaya çıktı” dedi. Bilimsel ve teknolojik gelişme için. “ASML’nin bu durumda temel amacı, yalnızca dünyanın en büyük fabrikalarında ihtiyaç duyulan son derece yüksek verimliliği korumaktı. Rusya’da hiç kimse bu kadar yüksek verimliliğe ihtiyaç duymaz. Çalışmalarımıza, yerel işletmelerin karşılaştığı ihtiyaç ve görevlerden başlıyoruz. mikroelektronik – ve bu çok fazla nicelik değil, nitelikle ilgili.Her şeyden önce, kendi üretim süreçlerimize geçmemiz, kendi tasarım standartlarımızı, kendi araçlarımızı, mühendisliğimizi, malzemelerimizi geliştirmemiz gerekiyor, bu yüzden burada kendi yolumuz kaçınılmazdır. . Aslında, basitlik ve performans arasında bir denge kurmamız gerekiyor.”
IAP, 2024 yılına kadar tamamen işlevsel bir alfa tarayıcı oluşturmayı planlıyor. Bu tarayıcının yüksek üretkenlik veya maksimum çözünürlük sunması gerekmeyecek, ancak çalışması ve potansiyel yatırımcılar için çekici olması gerekecek. IAP, tarayıcının 2026 yılına kadar daha yüksek üretkenlik ve çözünürlüğe sahip bir beta sürümünü oluşturmayı planlıyor. Bu makinenin seri üretime hazır olması gerekiyor, ancak üretkenliğinin maksimumda olması beklenmiyor. Lito tarayıcının son yinelemesinin 2028’de ortaya çıkacağı söyleniyor. Yüksek performanslı bir ışık kaynağı (dolayısıyla daha iyi üretkenlik), daha iyi metroloji ve genel yetenekler elde etmesi gerekiyor. IAP ve/veya üretim ortaklarının 2028 yılına kadar bu tür makinelerden kaç tanesini üretebileceğine dair bir bilgi yok.
Fab ekipmanının litografi tarayıcılarıyla sınırlı olmadığına dikkat edilmelidir. Rusya’da yapılmayan aşındırma, biriktirme, rezistans kaldırma, metroloji ve muayene işlemlerini gerçekleştiren başka tür makineler de vardır. Ayrıca, Rusya’da üretilmeyen ultra saf hava ve su jeneratörleri gibi biraz daha az gelişmiş makineler de var. IAP RAS bir litografi aleti yapmayı başarsa bile, Rusya modern bir fabrika inşa etmekten birkaç yüz araç eksik kalacaktır. Ayrıca fabrikaların Rusya’ya tedarik etmeyecek ülkelerde üretilen ultra saf hammaddelere ihtiyacı var.
