ASML daha önce High-NA Twinscan EXE EUV yarı iletken üretim tesisinin çok pahalı olacağı konusunda uyarmıştı. Son verilere göre önceki nesil sisteme göre iki kat daha pahalıdır.
Yeni bir yüksek diyafram numaralı makinenin maliyeti yaklaşık 380 milyon dolar olurken, Low-NA Twinscan NXE EUV makinesinin maliyeti yaklaşık 170 milyon dolardır.
Çılgın fiyata rağmen ASML’nin halihazırda Intel, Hynix ve diğerleri gibi devlerden 10-20 makine siparişi var. Şirket, 2028 yılına kadar yılda 20 adet bu tür ünite üretmeyi planlıyor.
High-NA Twinscan EXE EUV, ASML’nin en büyük başarısıdır. Bu tür kurulumların her biri 150 ton ağırlığındadır ve kurulumu 250 mühendisin altı ay sürecektir!
High-NA EUV Twinscan EXE, 8nm çözünürlük kapasitesine sahiptir (süreç teknolojisiyle karıştırılmamalıdır); bu, pozlama başına yalnızca 13nm’ye ulaşabilen mevcut düşük NA EUV tarayıcılara göre önemli bir gelişmedir.
Bu, yaklaşık 1,7 kat daha az transistörün kullanılmasına olanak tanır ve bu da transistör yoğunluğunun neredeyse üç kat artmasına neden olur. Ayrıca tüm bunlar, şirketlerin zaten mümkün olduğunca yaklaştığı 3 nm’den daha düşük teknolojik süreçler kullanılarak çip üretimi için kritik öneme sahip.
