SK hynix Tokyo Electron’u (TEL) değerlendiriyor en yeni kriyojenik aşındırma araçları400’den fazla katmanıyla 3D NAND’ın yeni lezzetlerini mümkün kılmak için -70C sıcaklıklarda çalışan. Kriyojenik aşındırma araçları, geleneksel araçlara göre üç kat daha hızlı delik açıyor; bu, 400’den fazla aktif katmana sahip 3D NAND için faydalı olacak bir yetenek. Elektrikli.
SK hynix, gerçek ekipmanı Güney Kore’ye ithal etmek yerine, test plakalarını Japonya’daki Tokyo Electron laboratuvarlarına gönderiyor. Bu yöntem, 3D NAND üreticisinin, gerçek araçları SK Hynix’e göndermeden ve fabrikalara kurmadan teknolojinin potansiyelini etkili bir şekilde değerlendirmesine olanak tanır. Yeni aşındırma sistemi -70°C’lik bir soğutma sıcaklığında çalışıyor; bu, mevcut aşındırma işlemlerinin 0°C ila 30°C aralığına tam bir tezat oluşturuyor.
Raporda, TEL’in yeni nesil gravür makinesinin, yüksek en-boy oranına sahip 10 µm derinliğinde gravürü yalnızca 33 dakikada, mevcut aletlerden üç kat daha hızlı yapabileceği belirtiliyor. Bu başarı yalnızca büyük bir teknik gelişme olmakla kalmıyor, aynı zamanda 3D NAND üretim verimliliğini de büyük ölçüde artırıyor; bu da 3D NAND cihazlarının üretim zaman çizelgelerini ve çıktı kalitesini yeniden şekillendirebiliyor.
Konu 3D NAND üretmeye geldiğinde, bazıları ‘dikey deliklerin aşındırılmasının’ basit olduğunu söyleyebilir, ancak öyle değildir. Aslında, derin bellek kanalı deliklerini iyi bir bütünlükle kazımak zorlu bir iştir; bu nedenle endüstri, 3D NAND için çift istiflemeyi ve hatta üçlü istiflemeyi (“derin” kanal deliği olan bir yığın yerine iki veya üç ayrı yığın oluşturmak) benimsemiştir.
SK hynix’in 321 katmanlı 3D NAND ürünlerinin üçlü yığın yapısı kullandığı söyleniyor. TEL’in yeni aşındırma ekipmanının benimsenmesiyle, tek veya çift yığın halinde 400 katmanlı 3D NAND cihazı oluşturmak mümkün olacak, bu da daha yüksek üretim verimliliği anlamına geliyor. 400’den fazla katmana sahip gelecekteki ürünlerin tek mi yoksa çift yığına mı geçeceği kararı, aracın ne kadar güvenilir performans gösterdiğine ve sonuçları tutarlı bir şekilde üretip üretemeyeceğine bağlı olacaktır.
TEL ekipmanının önemli bir çevresel avantajı, küresel ısınma potansiyeli (GWP) 1’den düşük olan hidrojen florür (HF) gazı kullanmasıdır. Bu, karbon tetraflorür (CF4) ve geleneksel olarak kullanılan perflorokarbonlarla karşılaştırıldığında ciddi bir azalmadır. GWP’leri sırasıyla 6030 ve 9540 olan oktafloropropan (C4F8). Sonuç olarak, TEL’in yeni aracının potansiyel olarak benimsenmesi, daha yeşil üretim uygulamalarına yönelik büyüyen bir endüstri eğilimini yansıtıyor.
SK hynix gravür aletini Tokyo Electron’a levha göndererek test ederken, Samsung Electronics eş zamanlı olarak aletin demo versiyonunu ithal ederek aynı teknolojiyi değerlendiriyor. Bu testlerin sonuçları, genel olarak yarı iletken üretiminde kriyojenik aşındırma teknolojilerinin gelecekte benimsenmesini ve potansiyel standardizasyonunu belirleyecektir.
