SK hynix Tokyo Electron’u (TEL) değerlendiriyor en yeni kriyojenik aşındırma araçları400’den fazla katmanıyla 3D NAND’ın yeni lezzetlerini mümkün kılmak için -70C sıcaklıklarda çalışan. Kriyojenik aşındırma araçları, geleneksel araçlara göre üç kat daha hızlı delik açıyor; bu, 400’den fazla aktif katmana sahip 3D NAND için faydalı olacak bir yetenek. Elektrikli.

SK hynix, gerçek ekipmanı Güney Kore’ye ithal etmek yerine, test plakalarını Japonya’daki Tokyo Electron laboratuvarlarına gönderiyor. Bu yöntem, 3D NAND üreticisinin, gerçek araçları SK Hynix’e göndermeden ve fabrikalara kurmadan teknolojinin potansiyelini etkili bir şekilde değerlendirmesine olanak tanır. Yeni aşındırma sistemi -70°C’lik bir soğutma sıcaklığında çalışıyor; bu, mevcut aşındırma işlemlerinin 0°C ila 30°C aralığına tam bir tezat oluşturuyor.

Raporda, TEL’in yeni nesil gravür makinesinin, yüksek en-boy oranına sahip 10 µm derinliğinde gravürü yalnızca 33 dakikada, mevcut aletlerden üç kat daha hızlı yapabileceği belirtiliyor. Bu başarı yalnızca büyük bir teknik gelişme olmakla kalmıyor, aynı zamanda 3D NAND üretim verimliliğini de büyük ölçüde artırıyor; bu da 3D NAND cihazlarının üretim zaman çizelgelerini ve çıktı kalitesini yeniden şekillendirebiliyor.

(İmaj kredisi: Tokyo Elektron)

Konu 3D NAND üretmeye geldiğinde, bazıları ‘dikey deliklerin aşındırılmasının’ basit olduğunu söyleyebilir, ancak öyle değildir. Aslında, derin bellek kanalı deliklerini iyi bir bütünlükle kazımak zorlu bir iştir; bu nedenle endüstri, 3D NAND için çift istiflemeyi ve hatta üçlü istiflemeyi (“derin” kanal deliği olan bir yığın yerine iki veya üç ayrı yığın oluşturmak) benimsemiştir.



genel-21