Huawei, aşırı ultraviyole (EUV) litografi tarayıcıyı kapsayan bir patent başvurusunda bulundu. UDN. Şirket böyle bir tarayıcı yapar ve yeterli üretkenlik, çalışma süresi ve verim elde ederse, Çinli yonga üreticileri 7nm sınıfının altındaki teknolojilerde yongalar üretebilir. Tek bir soru, ne zaman?
Kasım ayının ortalarında Huawei, bir EUV tarayıcısını ve temel bileşenlerini kapsayan bir patent için Devlet Fikri Mülkiyet Ofisine başvuruda bulundu. Patent başvuru numarası 202110524685X, raporlar Sürücülerim.
Patent başvurusu, bir 13,5 nm EUV ışık üreteci (ışık kaynağı), bir dizi yansıtıcı ayna, litografi sistemi ve “kontrol yönetimi teknolojileri” dahil olmak üzere bir EUV tarayıcısının tüm önemli bileşenlerini kapsıyor gibi görünüyor (bunun nasıl olacağını tahmin ediyoruz). çeşitli medya kaynaklarında yayınlanan açıklamalara göre metroloji diyorlar.
Bir patent başvurusunda bulunmak, bir uyum içinde ve uzun süreler boyunca mükemmel bir şekilde çalışması gereken çok sayıda son teknoloji bileşen içeren son derece karmaşık bir makine olan bir EUV tarayıcısı üretebilmekle aynı şey değildir. Ayrıca, ellerinde bir EUV aracı olsa bile, çip üreticilerinin maskeler, dirençler ve yüksek hacimli üretim için gerekli diğer pek çok şey için doğru zarları bulması gerekiyor.
0,33 sayısal açıklığa sahip bir EUV tarayıcı, günümüzün yarı iletken üretim araçlarının zirvesidir. Çok sayıda şirket böyle bir araç geliştirmeye çalıştı, ancak yalnızca ASML on yılı aşkın bir geliştirme sürecinden sonra ve Intel, Samsung ve TSMC’nin mali desteğiyle başarılı oldu. Bugün, Samsung, SK Hynix ve TSMC, ASML’nin EUV araçlarını aktif olarak kullanıyor, ancak Intel henüz bu araçları kullanarak yüksek hacimli çip üretimine başlamadı.
Şimdilik yalnızca Intel, Micron, Samsung, SK Hynix ve TSMC EUV tarayıcıları kullanıyor veya kullanmayı planlıyor. Ayrıca, yalnızca bu beş şirket EUV tarayıcılarından yararlanacak kadar karmaşık işlem teknolojileri geliştirdi (veya geliştirmeyi planlıyor). Bu arada Çin merkezli SMIC, Wassenaar düzenlemesi nedeniyle kendi EUV tabanlı fabrikasyon sürecini geliştirmek için halihazırda tedarik edilmiş bir EUV aracı alamadı. Bu nedenle, EUV tarayıcılarına yönelik talebin Çin’de potansiyel olarak var olduğu açıktır ve görünüşe göre Huawei bu talebi karşılamaya istekliydi.
Yıllık yaklaşık 100 milyar dolar ciroya sahip birinci sınıf bir yüksek teknoloji şirketi olarak Huawei, farklı hedefler peşinde koşuyor ve birçok teknoloji geliştiriyor. Şirketin yarı iletken üretim hedefleri iyi biliniyor ve bunlar çip üretimi ile sınırlı değil, aynı zamanda gofret fabrika ekipmanı inşa etmekle de sınırlı. Huawei’nin WFE çabaları, şirketin bir EUV tarayıcıyı kapsayan bir patent başvurusunda bulunmasıyla oldukça iyi ilerliyor.