Etiket: Nanolitografi

Genel

Ultraviyole “tirbuşon” 193 nm ile kompakt bir lazer: Çinli bilim adamları Birleşik Nanolitografi, Veri Koruma ve Nanoparçacıkların Bir Sistemde Manipülasyonu

193 nm dalga boyuna sahip derin ultraviyole (DUV) - mikroişlemcilerin üretiminde altın…