Imec, Yüksek NA lito araçlarını kullanarak ilk mantık ve DRAM transistörlerini tasarlıyor
Imec ve ASML Çarşamba günü, ASML’nin ASML’nin 0.55 sayısal açıklığa sahip Twinscan EXE:5000 EUV litografi aracını kullanarak endüstrinin mantık ve DRAM yapılarını yaptıklarını duyurdular. Bu, yüksek NA lito sistemi olarak…