İki veya üç yıl içinde Rus ekipleri arasındaki yakın işbirliği, modern çiplerin üretimi için bir X-ışını litografi oluşturmayı mümkün kılacak. Bu, Ulusal Fizik ve Matematik Merkezi’nin (NCFM) bilimsel direktörü, akademisyen ve Rusya Bilimler Akademisi eski başkanı Alexander Sergeev tarafından ifade edildi.
Rusya’nın mikroelektronikte birikmiş iş yüküne ve ülkede nanometre topolojik boyutta çiplerin üretilmesine izin veren X-ışını litograflarının eksikliğine dikkat çekti. Yine de Sergey, “NTsFM çerçevesinde, önermek istediğimiz işbirliğinin iki ila üç yıl içinde böyle bir litografi geliştirebileceğine” inanıyor.
ASML bu alanda dünya lideridir. Cihazlarında, bir lazer kalayı buharlaştırıyor ve elde edilen plazmadan gelen X-ışınları fotolitografi için kullanılıyor. “TBu şirket ilgili X-ışını litograflarını üretir üretmez, teknolojilerimizi bir alternatif geliştirmek için kullanmayı öneriyoruz, bu radyasyonu odaklamak için Rusya Bilimler Akademisi Uygulamalı Fizik Enstitüsünde geliştirilen X-ışını aynalarını kullanacağız. ve Sarov’daki Federal Nükleer Merkezde ve Enstitüdeki gelişmelerde. Sedakova. Bu üç gelişmeyi birleştirirsek, ASML’nin yaptığından çok daha fazla güce sahip bir litografik sistem elde ederiz.“, – dedi akademisyen Sergeev.
NCFM, Nijniy Novgorod Bölgesi, Sarov şehrinde Vladimir Putin adına kuruldu. Merkez, Rusya Federal Nükleer Merkezi – VNIIEF’in deneysel ve hesaplamalı tabanının yanı sıra NCFM’nin araştırma binaları, gelişmiş laboratuvarları ve orta bilim ve mega bilim tesislerinden oluşan bir komplekse dayanacak. 60’tan fazla bilimsel kuruluş ve bilim yoğun şirket, NCFM’nin bilimsel işbirliğini oluşturdu. Projenin kurucuları Devlet Kurumu Rosatom, Rusya Bilimler Akademisi, Rusya Federasyonu Bilim ve Yüksek Öğrenim Bakanlığı, M.V. Lomonosov ve NRC “Kurchatov Enstitüsü”.
