Zelenograd Nanoteknoloji Merkezi (ZNTC) ve düzlemsel sonuçlandırdım Rusya’nın 350nm sınıfı süreç teknolojilerini (0.35 mikron) destekleyebilen ilk litografi sisteminin geliştirilmesi. Geliştirme, Belarus merkezli Planar Company tarafından desteklendi. Makine resmi denetimleri giderdi ve Zelenograd’da entegrasyon denemeleri geçiriyor. Sembolik önemine rağmen, sistemin tasarımı birkaç on yıl boyunca modası geçmiş ve ZNTC’nin bunları hacim olarak üretip üretemeyeceği belirsizdir.
Resmi olarak bir yıl önce tanıtılan ZNTC litografi aracı, 22mm × 22mm (484 mm^2) pozlama alanı boyutuna sahip bir katı hal lazere dayanan 200 mm’lik bir lito makinesidir. ZNTC ve Planar, kullandığı lazerin dalga boyu veya lazerin yayabileceği güç de dahil olmak üzere araçla ilgili kritik teknik ayrıntıları açıklamaz. Bununla birlikte, ‘daha sıkı’ emisyon aralığına ve daha uzun operasyonel ömrüne sahip enerji tasarruflu ‘katı hal’ lazer kullandığını söylüyor.
Bir katı hal ışık kaynağının kullanılması, aracı sadece önde gelen fab alet üreticileri tarafından tasarlananlardan ayıran değil, aynı zamanda şirketin ilerlemesi planları hakkında bir ipucu verebilecek önemli bir ayrıntı gibi görünmektedir.
ZNTC’nin oldukça belirsiz duyurular yaptığını göz önünde bulundurarak (belki de ilerlemesini ve ortaklarının ilerlemesini sarmak için), ASML’den ZNTC’nin başarılarını bağlam haline getirmek için en iyi bilinen üretim araçlarını incelemek mantıklıdır.
ASML’nin litografi araçları, 350nm’den 130nm’ye kadar değişen işlem teknolojileri için kullanılan 200 mm’lik gofretler için tasarlanmış, geleneksel olarak iki ana ultraviyole (UV) aydınlatma kaynaklarından biri ve proses nodu gereksinimlerine bağlı olarak: cıva ark lambaları, KRF (KRF (Krf (Krf (Krf (argon flüt).
350nm ve daha az gelişmiş proses teknolojileri için, ASML’nin i-line stepleri, 365Nm (405nm ve 436nm dalga boyuna sahip cıva ark lambaları kullandı. 250nm ve daha gelişmiş düğümler için ASML, 248nm dalga boyuna sahip bir KRF (Kripton florür) lazer kullandı. 130nm düğümden başlayarak, ASML’nin derin ultraviyole litografi sistemleri 193nm dalga boyuna sahip ARF (argon florür) lazerler kullanmıştır.
Katı hal ışık kaynağı mı?
Hevesli bir okuyucu, “Yarıiletken üretiminde katı hal lazer nedir?” Katı hal lazerler yarı iletken üretiminde yaygın olarak kullanılır, ancak gelişmiş düğümlerde birincil litografik maruziyet için değildir. Bunun yerine, gofret muayenesi, kusur analizi, işaretleme ve gofret kanatlığı veya kesme bileşenleri de dahil olmak üzere mikro -işleme işlemleri gibi destekleyici rollerde kullanılırlar.
365Nm’lik bir dalga boyunda (frekans baskın ND: YAG lazerleri) çalışan katı hal lazerleri, olgun düğümlerde (örn., ≥250nm) litografi için kararlı, verimli ve güvenilir oldukları için kullanılabilir. Bununla birlikte, yukarıda belirtildiği gibi, ASML 1990’ların sonlarından bu yana gaz bazlı excimer lazerleri (248nm’de KRF, 193nm’de ARF) veya cıva lambaları (365nm i-line) kullanmıştır.
ZNTC’nin 130nm sınıfı bir süreç teknolojisi yapabilen bir litografi sistemi üzerinde çalıştığını söylediği gibi ilginç hale geliyor, ancak gelişiminin 2026’da bir ara kesinleşmesi bekleniyor.
Çok mu geç?
Bazı cihazlar için 350nm sınıflı bir işlem teknolojisi kullanılırken, bugünün standartlarına göre kullanılmıyor. 1990’ların ortalarında Intel, bu düğümü Pentium MMX, Pentium Pro ve erken Pentium II CPU’ları için kullanırken, AMD 1997 civarında aynı teknolojiyi kullanarak K6 işlemcisini üretti.
Angstrem ve Mikron gibi Rus Kez yapımcıları bile 350 nm’de üretilmiyor. Her iki şirket de 250 nm ile 90 nm arasındaki kararlarda faaliyet göstermektedir. Bu nedenle, yeni tarayıcı, büyük Rus dökümhanelerinin mevcut üretim düğümleriyle eşleşmiyor ve ASML’nin PAS 5500 serisi litografi araçlarını Rusya’ya kaçırılan PAS 5500 serisi litografi araçlarını kullanmaya devam edecek olan kritik olmayan katmanlarla hemen ticari alaka düzeyini sınırlıyor.
Yine de, ZNTC’nin aracı belirli sektörlerde sınırlı kullanım bulabilir. Bazı otomotiv ve güç yönetimi IC’leri olgun süreçler kullanılarak üretilir. Askeri uygulamalar da bu tür araçlardan yararlanabilir, çünkü son performans her zaman onlar için bir gereklilik değildir.
Yine de, yeni makinenin birincil amacının daha yetenekli sürümler geliştirmek için bir temel görevi olduğu görülmektedir. ZNTC şu anda 130nm sınıfı süreç teknolojilerini hedefleyen yeni bir model üzerinde çalışıyor. 2026’da tamamlanması bekleniyor. Bu versiyon, 2025, 2027 yılına kadar 28nm ve 2030 yılına kadar 90Nm’de yerli üretim amaçlayan Rus hükümeti tarafından belirlenen daha uzun vadeli bir yol haritasının bir parçası. ZNTC ve Rusya’daki akranları planın çok arkasında.
