Her ne kadar Çinli şirketler artık Amerikalı, Japon veya Hollandalı şirketlerden gelişmiş yonga yapım araçlarını alamasa da, hâlâ Güney Koreli şirketlerden gelişmiş fabrika ekipmanları alabiliyorlar. Bunun bir örneği, Çin yarı iletken pazarındaki varlığını genişleten Güney Koreli optik levha inceleme ekipmanı üreticisi Nextin’dir. DigiTimes Ve Elektrikli raporlar.
DigiTimes’a göre Nextin’in, adı açıklanmayan bir Çinli müşteriyle bir Aegis 3 makinesi için 7 milyar KRW (5,39 milyon $) tutarında bir anlaşma imzaladığı söyleniyor. Bu modelin Aegis 2’ye kıyasla %30 daha hızlı inceleme hızı ve 1,47 TFLOPS hesaplama performansı sunduğu iddia ediliyor.
Kaynağın söylediğine göre Nextin, yalnızca SK Hynix Çin’e değil aynı zamanda kara listeye alınan Yangtze Memory Technologies (YMTC) ve Semiconductor Manufacturing International Corporation’a (SMIC) da optik denetim araçları sağlıyor. YMTC ve SMIC, ABD Ticaret Bakanlığı tarafından yedek listeye alınmıştır, onlara hiçbir Amerikan teknolojisi sağlanamaz. Bu arada Nextin’in Çin kuruluşlarına gönderdiği ürünlerde ABD menşeli teknolojiyi kullanmaya devam edip etmediği belli değil.
Optik inceleme araçları, parlak alan (yansıyan ışık aracılığıyla görüntü elde etme) ve/veya karanlık alan (algılama için dağınık ışık kullanarak) modlarını kullanarak levhalar üzerindeki sorunları hızlı bir şekilde tespit etmeyi amaçlamaktadır. Nextin’in Aegis ekipmanı hem 200 mm’lik hem de 300 mm’lik levhaları denetleyebiliyor ve hem parlak alan hem de karanlık alan modlarında çalışabiliyor. Yansıyan ışığı kullanan parlak alan yöntemi, 15 nm kadar küçük kusurları tespit edebiliyor. Bu arada, dağınık ışığa dayanan karanlık alan yöntemi, 30 nm’ye kadar olan kusurları tespit edebiliyor.
Nextin’in Aegis aracının çözünürlükleri günümüz standartlarına göre etkileyici görünmese de, kusurların cihazın işlevselliğini etkilemesi için özellik boyutu kadar küçük olması gerekmez. 15nm boyutunda bir kusur, 14nm veya 7nm üretim düğümündeki yapıların çalışmasını yine de önemli ölçüde bozabilir veya bozabilir, bu da tespitini hayati hale getirebilir. Optik algılama araçlarının e-beam veya çoklu e-beam araçlarından daha hızlı olduğu akılda tutularak bu optik inceleme araçları günümüzde yaygın olarak kullanılmaktadır. Hangi fabrikalar için? Müşteri karar verir. Bunlar aynı zamanda sadece fabrikasyon değil aynı zamanda hiçbir soru sorulmadan alınabilecek depolama tesisleri de olabilir.
Nextin’in genel olarak Çin pazarına da daha fazla yatırım yaptığına dair göstergeler var. Şirketin, denetim tespit ekipmanı için gelişmiş bir üretim ve Ar-Ge üssü oluşturmak amacıyla Wuxi Yüksek Teknoloji Bölgesi ve Wuxi Endüstriyel Geliştirme Grubu’ndaki bir projeye 200 milyon dolar akıttığı bildiriliyor.
