Çin merkezli litografi araçları geliştiricisi Shanghai Micro Electronics Equipment Group (SMEE), 28nm sınıfı bir proses teknolojisi kullanarak levhaları işleyebilen ilk litografi makinesini duyurdu. Bloomberg. Bu ilerleme, Çin’in küresel çip endüstrisindeki teknolojik açığı kapatma arayışında büyük bir sıçramayı temsil ediyor. Ancak cihaz hâlâ pazar lideri ASML tarafından üretilen araçların gerisinde ve SMEE’nin bu tarayıcıları ne zaman önemli miktarlarda üretebileceği belli değil.
Duyuru tuhaflıklar olmadan gelmedi. Bu yeni litho makinesiyle ilgili haberler ilk olarak SMEE’nin dördüncü en büyük hissedarını kontrol eden devlet destekli bir şirket olan Zhangjiang Group tarafından, hisselerinin %8 oranında arttığı bir WeChat gönderisinde paylaşıldı. Ancak bundan sonra şirket görevini değiştirdi ve 28nm özellikli araçla ilgili tüm ifadeleri kaldırdı ve SMEE’nin gelişmiş litografi makineleri üretmeye kararlı olduğu gerçeğine odaklandı. Bu biraz şaşırtıcı çünkü bu yılın başlarında SMEE, yıl sonuna kadar 28 nm kapasiteli bir litografi aracını tanıtacağını söylemişti.
Tarayıcının SSA/800-10W olarak adlandırıldığı bildiriliyor ve mevcut SSA600 serisi makineleri 90nm, 110nm ve 280nm proses teknolojilerine sahip olduğundan şirket için büyük bir atılımı temsil ediyor.
TSMC, 2011’den bu yana 28nm proses teknolojisiyle çip üretiyor, Çin merkezli SMIC ise 2015 yılında benzer bir teknolojiyi benimsedi. Ancak hem SMIC hem de TSMC, uygun çipler yapmak için ASML’nin litho araçlarını kullandı.
ABD hükümeti tarafından belirlenen en son ihracat kuralları, Çinli çip üreticilerinin, 14nm/16nm’den daha küçük gelişmiş düzlemsel olmayan transistör mantık çipleri, 127’den fazla aktif katmana sahip 3D NAND çipleri ve DRAM IC’leri üretmek için gerekli ekipman ve teknik bilgiyi edinmesini engelliyor. 18nm’nin altında yarım adımla.
Bu yılın başlarında Hollanda, Japonya ve Tayvan’dan gelen ek kısıtlamalar, Çinli şirketlerin gelişmiş araçlardan daha da uzaklaşmasına neden oldu. Bu kısıtlamalar, özellikle SMIC’in 14nm/12nm ve ikinci nesil 7nm işlemlerini ve YMTC’nin 128 katmanlı ve 232 katmanlı 3D NAND yongalarını kullanarak en son üretim düğümlerini kullanarak yonga üretme yeteneklerini engellemektedir. Bu arada ABD Ticaret Bakanlığı, Çin’in yarı iletken endüstrisini kendi araçlarıyla geliştirmesini engellemeye çalışarak SMEE’yi geçen yıl Varlık Listesi’ne aldı.
