Litografi makineleri, yonga yapımında önemli bir araçtır çünkü silikon levhalar üzerine devre desenleri kazımak ve bu desenlerin dilimlenip küplere dönüştürülerek yonga haline getirilmesi için kullanılırlar. Bu yongalar milyarlarca transistör içerebildiğinden, bu desenler insan saçından daha ince olmalıdır. Dökümhanelerin kullandığı litografi makinelerini yalnızca bir şirket üretir ve bu da Hollanda firması ASML’dir.
Hollanda dış ticaret ve kalkınma bakanı Reinette Klever bu ayın başlarında ASML’nin eski 1970i ve 1980i daldırma DUV (Derin Ultraviyole) Litografi makinelerini Çin merkezli dökümhanelere göndermek için lisans alması gerektiğini duyurdu. Daha önce, bu makineleri Çin’e göndermek için lisans gerekmiyordu. DUV Litografisi, dökümhanelerin 7nm kadar “küçük” bir işlem düğümü kullanarak yonga üretmesine yardımcı olabilir. Ve artık bu eski makinelerin ASML tarafından servis edilmesi için lisans gerekiyor.
ASML’nin Çin dökümhanelerine Yüksek NA EUV makineleri göndermesine izin verilmiyor. | Görsel kredisi-ASML
Sonuç olarak, Çin’deki dökümhanelerin EUV litografi ekipmanı edinmesini engelleyen yasaklar önemli olmayabilir. Shanghai Micro Electronics Equipment, bir EUV makinesi için parçalar üretmek üzere patent başvurusunda bulundu ve şirket patenti alırsa, SMIC gibi şirketlerin ABD kısıtlamalarına tabi olmayan kendi EUV makinelerini edinmelerine yardımcı olabilir. Dutch tech dergisi editörü Paul Van Gerven Parçalar ve Cipsler, “Hollandalılar geri adım atmaya başlarsa, ABD büyük ihtimalle kendi ek kısıtlamalarını getirecektir.” diyor.
