Araç üreticisi ASML’nin genel müdürü Christophe Fouquet, SMIC ve Huawei’nin son yıllarda yarı iletken sektöründe kaydettiği ilerlemelerin oldukça etkileyici olmasına rağmen şirketlerin Intel, TSMC ve Samsung gibi endüstri devlerinin 10 ila 15 yıl gerisinde olduğunu söyledi. Çin fabrikası SMIC’in, sınıfının en iyisi DUV araçlarıyla bile, TSMC’nin proses teknolojilerini maliyet etkin bir şekilde karşılayamayacağı iyi biliniyor. Bunun nedeni Çinli şirketlerin son teknoloji EUV litografi araçlarına erişememesidir.
Christophe Fouquet, “EUV ihracatını yasaklayarak Çin, Batı’nın 10 ila 15 yıl gerisinde kalacak” dedi. NRC (makine tercümesi). “Bunun gerçekten etkisi var.”
SMIC’in bir EUV makinesi için bildirdiği siparişe rağmen ASML, Wassenaar Düzenlemesi nedeniyle EUV araçlarını Çin’e hiçbir zaman göndermedi. Ayrıntılar belirsizliğini koruyor ancak ASML, ABD yaptırımları nedeniyle makineyi Çin dökümhanesine teslim etmedi. Ancak ASML, Twinscan NXT:2000i gibi 5nm ve 7nm sınıfı proses teknolojilerinde çip üretme kapasitesine sahip gelişmiş DUV litografi araçlarını sunmaya devam etti.
Sonuç olarak SMIC, yıllardır 1. nesil ve 2. nesil 7nm sınıfı proses teknolojisini kullanarak Huawei için çip üretiyor. Bu kesinlikle Çin yüksek teknoloji devlerinin ABD hükümetinin yaptırımlarını atlatmasına yardımcı oldu.
EUV araçlarının Çin’e gelmeyeceğini anlayan Huawei ve ortakları, en iyi ihtimalle 10-15 yıl sürecek olan kendi litografi çip yapım araçlarını ve ekosistemini oluşturmak amacıyla ekstrem ultraviyole litografiyi kendileri keşfettiler. Referans olarak, ASML ve ortaklarının EUV ekosistemini oluşturmak için temel çalışmalarından ticari makinelerin tamamlanmasına kadar 20 yılı aşkın bir süre geçti. 1990’ların başında/ortalarında geliştirilen teknolojilerin çoğunun açıkça bilindiği dikkate alındığında, Çinli şirketlerin her şeyi sıfırdan geliştirmesi gerekmeyecek. Bununla birlikte, Çin yarı iletken endüstrisi Low-NA EUV araçlarını geliştirdiğinde, Batı çip endüstrisi High-NA EUV litografisine ve hatta Hyper-NA EUV ekipmanına sahip olacak.
Ancak asıl endişe, Çinli şirketlerin yaklaşık 15 yıl sonra kendi EUV litografi araçlarını geliştirebilecekleri değil, önümüzdeki birkaç yıl içinde ASML’nin ana akım DUV makinelerini (Twinscan NXT:2000i gibi) kopyalayabilecekleridir.
Amerikan hükümeti, ASML’ye Çin’deki gelişmiş DUV sistemlerinin bakım ve onarımını durdurması için baskı yapıyor, bu da onu Çin’in yarı iletken sektörüne yönelik mevcut yaptırımlarla tutarlı hale getirecek. Ancak Hollanda hükümeti şu ana kadar bu talebi kabul etmedi. ASML, Çinli şirketlerin çip fabrikalarını çalışır durumda tutmak için bakımı devralması durumunda ortaya çıkabilecek hassas bilgilerin sızması riskini önlemek için Çin’deki makineleri üzerindeki kontrolü elinde tutmayı amaçlıyor.
Şimdilik Çinli şirketler ASML’nin ana müşterileri arasında yer alıyor ve şirket, SMIC, Hua Hong ve YMTC’ye DUV litho araçları satarak milyarlarca dolar kazanıyor. Çinli litografi ekipmanı üreticileri kendi DUV litografi sistemlerini oluşturursa (veya daha doğrusu ne zaman) olursa (veya yalnızca ASML tarafından geliştirilenleri kopyalarsa) ne olur bilinmiyor. Bir yandan ASML’den alımları azaltabilirler, diğer yandan ise ASML ile rekabet ederek bu araçları Çin dışına satmaya başlayabilirler. Yakın zamanda Twinscan NXT:2000i benzeri bir makine üretmeleri pek mümkün olmasa da, daha az gelişmiş bir şeyin kopyalanması çok daha kolay olabilir.
