Toto esas olarak gelişmiş tuvaletleri ve sıhhi seramikleri ile bilinir. Bununla birlikte, şirketin seramik üretimindeki uzmanlığı da yarı iletken üretimine uygulanabilir. 1980’lerden beri Toto, modern yarı iletken üretiminde elektrostatik mandrenleri (e-chucks) vazgeçilmez hale getirdi. Buna göre Nikkeibu ürünlerden elde edilen faaliyet karlarının bu yıl 100 milyon doları aşması bekleniyor.
Çağdaş yarı iletken üretiminde, elektrostatik aynalar (ESC’ler), mekanik kelepçe veya vakum bazlı yöntemler yerine elektrostatik kuvvetler kullanarak bir silikon gofret (veya diğer substrat) güvenli bir şekilde tutar. ESC, EUV litografi aşamaları, plazma aşınması, kimyasal buhar birikimi (CVD), fiziksel buhar birikimi (PVD) ve hassas gofret konumlandırma ve minimal kontaminasyon gerektiren diğer aşamalar dahil olmak üzere Chip üretiminin birçok adımında önemli bir bileşendir.
E-chucks geleneksel olarak CVD, PVD ve plazma aşınması için kullanılırken, ancak bir ortam ortamında veya daldırma sıvısında gerçekleştirildiği gibi DUV litografisi adımları için olmasa da ve bu nedenle gofret altındaki bir vakum sistemi korumak için yeterince iyidir. gofret düzlüğü ve pozisyonu. Ancak, EUV ile işler farklıdır. EUV litografisi çok kısa 13.5nm dalga boylarında çalışır ve EUV ışığının emilimini önlemek için yüksek perdeli bir ortam gerektirir. Bu nedenle, yonga üreticileri, bu tür ortamlarda kullanımı daha kolay oldukları için vakum aynaları yerine e-chucks kullanırlar. Ayrıca, daha düzgün kenetleme kuvveti sağlayabilir, stresi azaltabilir, bozulmayı en aza indirebilir ve kaplama ve kritik boyut (CD) kontrolünü iyileştirebilirler.
Bir gofret işlemek ve bir çip yapmak için 4.000’den fazla adım atıyor. EUV basamaklarının kullanımı son yıllarda, tıpkı kesin gofret konumlandırılması gerektiren adımlar gibi artmaktadır, bu nedenle ESC’lerin kullanımı artıyor, Toto’nun gelirlerini ve kârlarını arıyor. E-chucks için kullanılan seramikler hem güçlü hem de çatlamaya dirençli olmalıdır. Toto, tuvalet imalatındaki uzun geçmişinden kalıplama ve ateşleme uzmanlığını uygulayan tek tip özelliklere sahip malzemeler geliştirdi. Ancak, bu alandaki rekabet artıyor. E-chucks’ta Toto, ekipman üreticileri ve uygulamalı malzemelerle güçlü bağları olan Shinko Electric Industries ile yüzleşir.
Konumunu güçlendirmek için Toto, üretime büyük yatırım yaptı. 2020’de şirket, Japonya’nın Oita kentinde bir seramik üretim tesisi inşa etmek için 11.8 milyar ¥ harcadı. Nisan 2020 ve Nisan 2024 arasında seramik üretim işgücünü yaklaşık%20 oranında artırdı. Şirket başkanı Noriaki Kiyota’ya göre, yeni bir fabrika planları da dikkate alınıyor.
2024 mali yılı için Toto, seramik bölümünün yaklaşık% 40 marjla 20 milyar ¥ (130 milyon dolar) işletme karı üretmesini bekliyor. Bu, şirketin öngörülen toplam marjından çok daha yüksektir. 2026 mali yılına göre, bu rakamı 25 milyar ¥ ‘a çıkarmayı ve ürün aralığını genişletmeyi hedefliyor.
Toto artık gofret işlemenin ötesinde, kesme ve ambalaj gibi aşağı akış adımlarına bakıyor. Rapora göre, üç boyutlu çip istifleme yeni baz substrat teknolojileri gerektiriyor ve seramiklerin bu süreçlerde daha belirgin bir rol oynaması bekleniyor.
Toto Başkanı Noriaaki Kiyota, “İniş ve çıkışlar olsa bile, yarı iletkenler şüphesiz katlanarak büyümeye devam edecek.” Dedi.
