ASML, derin ultraviyole litografi (DUV) aracının en son ABD ihracat kurallarına uyacak ve Çinli müşterilere lisanssız gönderilebilecek özel bir sürümünü piyasaya sürmeyi düşünüyor. DigiTimes. Cihaz, SMIC ve Hua Hong gibi şirketlerin 28nm sınıfı düğümlerde ve daha kalın yongalar yapmalarını sağlayacak, ancak daha gelişmiş düğümleri kullanmalarına izin vermeyecek.
Söz konusu litografi aracı, Twinscan NXT:1980Dive şu anda bu, TSMC’nin hala ürettiği en az gelişmiş daldırma tarayıcıdır. Makine, 1.35 sayısal açıklık optiğine sahiptir ve 7nm sınıfı ve hatta daha gelişmiş düğümler için yeterli olan <38 nm çözünürlük kapasitesine sahiptir. Aslında, ilk olarak 2016'da piyasaya sürülen bu tarayıcı, TSMC tarafından 7nm sınıfı işlem teknolojisini geliştirmek için kullanıldı.
SMIC ve diğer Çinli yonga üreticilerinin 28nm altı işlem teknolojisi oluşturmasını önlemek için bu cihazı kesmek ve desteklenen minimum çözünürlüğünü artırmak teorik olarak mümkündür. SMIC’in gelirindeki aslan payının 28nm’den daha kalın üretim düğümlerinden geldiğini göz önünde bulundurursak, Çinli şirketlerin yine de bu tür araçları tedarik etmekle ilgilenmesi muhtemeldir.
En son ihracat düzenlemeleri, Amerikan firmalarını ve bireylerini, 14nm/16nm ve altındaki düğümlerde düzlemsel olmayan transistörlerle mantık yongaları, 128 veya daha fazla katmana sahip 3D NAND ve 18nm yarı yarıya DRAM bellek yongaları ile mantık yongaları üretebilen araç ve teknolojileri ihraç etmek için lisans almalarını zorunlu kılıyor. -pitch veya daha az. ASML ve Twinscan NXT:1980Di’de olduğu gibi, ABD’den bileşen ihraç eden Amerikalı olmayan şirketler için de aynı kurallar geçerlidir.
En son Hollanda ihracat kuralları, ASML’nin Twinscan NXT:2000i tarayıcılarını Çinli şirketlere satması için bir ihracat lisansı almasını şart koşuyor. ASML resmi olarak Twinscan NXT’nin sınırlı bir sürümünü oluşturmadı, ancak ihracat düzenlemeleri ileri teknolojilerin Çin’e satışını kısıtlamaya devam ederse, böyle bir hareket olası görünüyor.